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SENSIRION液體流量計(jì)質(zhì)量流量控制器 SFC5400
針對(duì)多種應(yīng)用的多功能控制器
SFC5400質(zhì)量流量控制器以優(yōu)異的精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和可重復(fù)性測(cè)量和控制質(zhì)量流量，覆蓋寬動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍。SFC5400可高度配置，其外殼由金屬制成。此外，流量控制器可使用各種電氣接口和各種流體連接件，測(cè)量50 sccm到200 slm的大流量。傳感器信號(hào)可在芯片上直接轉(zhuǎn)換成100%校準(zhǔn)和經(jīng)溫度補(bǔ)償?shù)臄?shù)字信號(hào)。多氣體校準(zhǔn)可存儲(chǔ)在單個(gè)器件上。此外，流量控制器還可檢查激活的氣體校準(zhǔn)與實(shí)際氣體是否匹配。SFC5400的通用性使之成為了工業(yè)和醫(yī)療應(yīng)用的理想解決方案。

SFC5400質(zhì)量流量控制器與所有傳感器產(chǎn)品一樣，依賴創(chuàng)新的CMOSens? 技術(shù)，在一個(gè)CMOS硅芯片上集成了高精度傳感器元件及模擬和數(shù)字處理電路，可保證優(yōu)異的性能。配合材料，SFC5400可實(shí)現(xiàn)持久穩(wěn)定、快速和高度的流量控制。

SFC5400質(zhì)量流量控制器也提供無閥版本。SFM5400質(zhì)量流量計(jì)與質(zhì)量流量控制器具有相同性能特性，可用在類似應(yīng)用當(dāng)中，SFC5400和SFM5400可組合在一起。在SFM5400網(wǎng)站，您可以找到關(guān)于質(zhì)量流量控制器的更多信息和詳細(xì)規(guī)格。

對(duì)于大批量的項(xiàng)目，我們可根據(jù)您的具體要求調(diào)整或開發(fā)您需要的質(zhì)量流量控制器。了解更多關(guān)于定制解決方案信息。

SENSIRION液體流量計(jì)性能參數(shù)
超快速氣體流量控制（穩(wěn)定時(shí)間＜100 ms）
超低流量測(cè)量時(shí)的高精度（＜ 1sccm）
出色的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和可靠性
無老化效應(yīng)
寬動(dòng)態(tài)范圍（量程比1000:1）
多氣體配置
高配置
源于CMOSens?技術(shù)的*性價(jià)比
數(shù)字和模擬接口
靈活機(jī)械連接選項(xiàng)：向下安裝、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等。
如有需要，可提供定制版本

應(yīng)用
分析儀器  （如氣相色譜、質(zhì)譜、熱分析）
醫(yī)療器械  （如呼吸機(jī)、麻醉機(jī)）
工業(yè)過程自動(dòng)化  （如涂覆、熱處理）
半導(dǎo)體行業(yè)  （如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積）

SENSIRION液體流量計(jì)質(zhì)量流量控制器 SFC5300
優(yōu)化了成本，尺寸緊湊的控制器（可大批量生產(chǎn)）
SFC5300質(zhì)量流量控制器以優(yōu)異的精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和可重復(fù)性測(cè)量和控制質(zhì)量流量。它擁有緊湊的尺寸和出色的動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍。SFC5300的外殼由金屬制成。SFC5300質(zhì)量流量控制器向下安裝連接，有兩個(gè)數(shù)字接口。SFC5300是SFC5400質(zhì)量流量控制器變形版，適用成本敏感的大批量OEM項(xiàng)目。

與所有Sensirion傳感器一樣，SFC5300質(zhì)量流量計(jì)的突出表現(xiàn)依賴創(chuàng)新的CMOSens? 技術(shù)，在一個(gè)CMOS硅芯片上集成了高精度傳感器技術(shù)與電子處理電路。配合材料，SFC5300可實(shí)現(xiàn)持久穩(wěn)定、快速和高度的流量測(cè)量。

SFC5300質(zhì)量流量控制器也提供無閥版本SFM5300。SFC5300和SFM5300具有相同性能特性，可理想地組合在類似應(yīng)用當(dāng)中。在SFM5300網(wǎng)站，您可以找到關(guān)于質(zhì)量流量計(jì)的更多信息和詳細(xì)規(guī)格。

對(duì)于大批量的項(xiàng)目，我們可根據(jù)您的具體要求調(diào)整或開發(fā)您需要的質(zhì)量流量控制器。了解更多關(guān)于定制解決方案信息。

性能參數(shù)
超低流量測(cè)量時(shí)的高精度（＜ 1sccm）
出色的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和可靠性
無老化效應(yīng)
寬動(dòng)態(tài)范圍（量程比1000:1）
多氣體配置
于CMOSens?技術(shù)的*性價(jià)比
尺寸緊湊

應(yīng)用
分析儀器  （如氣相色譜、質(zhì)譜、熱分析）
醫(yī)療器械  （如呼吸機(jī)、麻醉機(jī)）
工業(yè)過程自動(dòng)化  （如涂覆、熱處理）
半導(dǎo)體行業(yè)  （如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積）